10:45 〜 11:00 △ [18a-Z15-6] GaNへのMgイオン注入におけるリコイルN原子の影響 〇(B)ハーバート 甲斐1、柴田 和樹1、アスバル ジョエル2、葛原 正明1 (1.関学大理工、2.福井大院工)