10:00 〜 10:50 [16a-P04-5] ドライエッチングにより製作したメンブレン構造のNbO薄膜の顕微分光透過率測定とEDX分析 〇佐藤 美那1、松谷 晃宏1、津久井 遼2、木野 勝2、山本 広大2、栗田 光樹夫2、長田 哲也2 (1.東工大 OFC、2.京大)