Tsung-En Lee

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発表者・著者、共著者

2021年3月16日(火) 09:00 〜 12:15 Z13 (Z13)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.3 絶縁膜技術

[16a-Z13-1~12] 13.3 絶縁膜技術

10:00 〜 10:15

▲ [16a-Z13-5] [Young Scientist Presentation Award Speech] Defect control of Y₂O₃-based SiGe MOS interfaces properties

〇Tsung-En Lee¹、Kasidit Toprasertpong¹、Mitsuru Takenaka¹、Shinichi Takagi¹ (1.Univ. of Tokyo)