Sri Ayu Anggraini

→ Google ScholarでSri Ayu Anggrainiを検索

発表者・著者、共著者

2021年3月16日(火) 16:00 〜 16:50 P07 (ポスター)

一般セッション(ポスター講演)
| 9 応用物性
| 9.1 誘電材料・誘電体

[16p-P07-1~5] 9.1 誘電材料・誘電体

16:00 〜 16:50

▲ [16p-P07-4] Controlling the polarity of scandium aluminum nitride (ScAlN) piezoelectric thin film via Si addition

〇Sri Ayu Anggraini¹、Masato Uehara¹、Kenji Hirata¹、Hiroshi Yamada¹、Morito Akiyama¹ (1.AIST)