18:30 〜 18:45 [16p-Z12-13] マグネトロンスパッタリング法による(ZnO)x(InN)1-x膜のエピタキシャル成長:基板の面極性の影響 〇成重 椋太1、金島 健太郎1、浦川 聖一1、山下 大輔1、鎌滝 晋礼1、奥村 賢直1、古閑 一憲1、白谷 正治1、板垣 奈穂1 (1.九大シス情)