17:15 〜 17:30 [16p-Z26-15] ミストCVD法HfxZr1-xO2薄膜特性の製膜後RTA依存性 〇(M1)藤原 悠希1、大西 潤哉1、西中 浩之1、吉本 昌広1、野田 実1 (1.京工繊大)