中村守孝

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発表者・著者、共著者

2021年3月17日(水) 09:00 〜 11:45 Z03 (Z03)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17a-Z03-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:15 〜 11:45

[17a-Z03-10] [分科内招待講演] 実験が大好きなだけのかけだしが世界で最初の量産用Alエッチング装置をつくってしまった話と、その後の静電チャックの開発について

〇中村守孝¹ (1.MAMO)