15:00 〜 15:50 [17p-P06-4] 紫外レーザーアニーリングによる種々の不純物をドープしたβ-Ga2O3薄膜の固相結晶化と特性評価 〇(M1)渡邉 一樹1、松島 拓海1、大賀 友瑛1、土嶺 信男2、金子 智3,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大物質理工、2.(株)豊島製作所、3.神奈川県産技総研)