Ukei Riyuu

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発表者・著者、共著者

2021年3月17日(水) 13:30 〜 16:15 Z29 (Z29)

一般セッション(口頭講演)
| 16 非晶質・微結晶
| 16.3 シリコン系太陽電池

[17p-Z29-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

13:30 〜 13:45

▲ [17p-Z29-1] Recovery of PH₃ plasma-ion-implantation-induced damages in p-type amorphous silicon by flash lamp annealing

〇(M2)Ukei Riyuu¹、Huynh Thi Cam Tu¹、Noboru Yamaguchi²、Keisuke Ohdaira¹ (1.JAIST、2.ULVAC Inc.)