15:00 〜 15:15 [17p-Z33-7] 歪みSi/ SiGe/Si(110)ヘテロ構造へのin situ Sbドーピングに関する研究 〇(B)吉川 満希1、浪内 大地1、陳 北辰1、堀内 未希1、藤澤 泰輔1、山中 淳二1、原 康祐1、中川 清和1、有元 圭介1 (1.山梨大工)