10:30 〜 10:45 [18a-Z29-3] THz時間領域分光によるALD酸化膜の電界効果の評価 〇望月 敏光1、薄 謙志郎1、棚橋 克人1、高遠 秀尚1、川山 巌2、斗内 政吉3 (1.産総研、2.京都大学、3.阪大レーザー研)