10:00 〜 10:50 [19a-P04-8] Al(CH3)3凝縮層の酸素プラズマ照射によるAl2O3低温形成と物性評価 〇(M2)大川 敦輝1、山田 大地2、王谷 洋平2、佐藤 哲也1 (1.山梨大、2.諏訪東京理科大)