一般セッション(口頭講演) | 6 薄膜・表面 | 6.1 強誘電体薄膜 [18a-Z20-1~8] 6.1 強誘電体薄膜 2021年3月18日(木) 10:00 〜 12:00 Z20 (Z20) 清水 荘雄(NIMS)
一般セッション(口頭講演) | 6 薄膜・表面 | 6.2 カーボン系薄膜 [18a-Z13-1~11] 6.2 カーボン系薄膜 2021年3月18日(木) 09:30 〜 12:30 Z13 (Z13) 岩崎 孝之(東工大)、徳田 規夫(金沢大)
一般セッション(口頭講演) | 6 薄膜・表面 | 6.2 カーボン系薄膜 [18p-Z13-1~12] 6.2 カーボン系薄膜 2021年3月18日(木) 14:00 〜 17:30 Z13 (Z13) 石川 豊史(産総研)、清水 麻希(埼玉大学)
一般セッション(口頭講演) | 6 薄膜・表面 | 6.4 薄膜新材料 [18p-Z15-1~15] 6.4 薄膜新材料 2021年3月18日(木) 13:30 〜 17:30 Z15 (Z15) 土屋 哲男(産総研)、西川 博昭(近畿大)
一般セッション(口頭講演) | 7 ビーム応用 | 7.1 X線技術 [18a-Z14-1~11] 7.1 X線技術 2021年3月18日(木) 09:00 〜 12:15 Z14 (Z14) 佐々木 明(量研機構)、豊田 光紀(東京工芸大)
一般セッション(口頭講演) | 7 ビーム応用 | 7.1 X線技術 [18p-Z14-1~4] 7.1 X線技術 2021年3月18日(木) 13:15 〜 14:15 Z14 (Z14) 津留 俊英(山形大)
一般セッション(口頭講演) | 7 ビーム応用 | 7.3 微細パターン・微細構造形成技術 [18a-Z16-1~8] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術 2021年3月18日(木) 09:00 〜 11:15 Z16 (Z16) 山本 治朗(日立)、谷口 淳(東理大)
一般セッション(口頭講演) | 8 プラズマエレクトロニクス | 8.1 プラズマ生成・診断 [18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断 2021年3月18日(木) 13:30 〜 19:00 Z17 (Z17) 赤塚 洋(東工大)、富田 健太郎(北大)、田中 学(九大)
一般セッション(口頭講演) | 8 プラズマエレクトロニクス | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 [18a-Z17-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 2021年3月18日(木) 09:00 〜 12:00 Z17 (Z17) 竹中 弘祐(阪大)、竹田 圭吾(名城大)
一般セッション(口頭講演) | 8 プラズマエレクトロニクス | 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野 [18p-Z18-1~16] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野 2021年3月18日(木) 13:30 〜 17:45 Z18 (Z18) 伊藤 剛仁(東大)、高島 圭介(東北大)