[16a-Z13-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[16a-Z13-11] 高圧水蒸気中で製膜した陽極シリコン酸化膜 -印加電圧依存性-

〇堅田 卓弥¹、八ッ橋 拓真¹、呉 研¹、高橋 芳浩¹ (1.日大理工)

キーワード：陽極酸化法、高圧水蒸気中、シリコン酸化膜

高圧水蒸気中での陽極酸化プロセス中に流れる電流を調査したところ，高圧力・高電圧時に瞬間的に大きな電流が流れることを確認した．その異常電流が流れる条件下で製膜された酸化膜は電気的特性が劣ることが分かった．