[16a-Z13-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[16a-Z13-2] HCl前洗浄がAl₂O₃/GaN界面特性に与える影響

〇(M1)長井 大誠¹、田岡 紀之¹、大田 晃生¹、池田 弥央¹、牧原 克典¹、宮﨑 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：界面特性