[16a-Z21-1~9] 12.6 Nanobiotechnology

[16a-Z21-3] Fabrication of Pt nano-pore for DNA sequencer based on EBL

〇Genki Ohkatsu¹, Trong Tue Phan¹, Akihiro Matsutani², Yutaka Majima¹ (1.Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Tech., 2.Open Facility Center, Tokyo Tech.)

Keywords:DNA sequencer, nano-pore

我々は、電子線リソグラフィ(EBL)により初期Ptナノポアを作製した後、無電解金メッキを行うことで、DNAシーケンシングが可能な金属ナノポアを作製することを検討している。今回、EBLプロセスを最適化することにより、初期ポア孔径60ｎｍを作製するプロセスを確立したので報告する。