[16a-Z21-1~9] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[16a-Z21-3] ナノポアDNAシーケンサに向けたEBLによるPtナノポアの作製

〇大勝 賢樹¹、Phan Trong Tue¹、松谷 晃宏²、真島 豊¹ (1.東京工業大学フロンティア材料研究所、2.東京工業大学オープンファシリティセンター)

キーワード：DNAシーケンサ、ナノポア

我々は、電子線リソグラフィ(EBL)により初期Ptナノポアを作製した後、無電解金メッキを行うことで、DNAシーケンシングが可能な金属ナノポアを作製することを検討している。今回、EBLプロセスを最適化することにより、初期ポア孔径60ｎｍを作製するプロセスを確立したので報告する。