[16a-Z32-1~10] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[16a-Z32-1] Mechanical and electrical analysis in phononic Si crystal

〇Masaki Fujikane¹, Kouhei Takahashi¹, Naoki Tambo¹, Takashi Kozaki¹, Shijo Nagao² (1.Panasonic, 2.ISIR, Osaka Univ.)

Keywords:phononic crystal

単結晶Siで作られたフォノニック結晶に対し、ナノインデンテーションを用いた機械特性評価を行い、その押し込み試験中に電気特性も同時に評価した結果を報告する。