[16a-Z32-1~10] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[16a-Z32-1] 単結晶Siで作られたフォノニック結晶の機械特性及び電気特性評価

〇藤金 正樹¹、高橋 宏平¹、反保 尚基¹、神前 隆¹、長尾 至成² (1.パナソニック、2.阪大産研)

キーワード：フォノニック結晶

単結晶Siで作られたフォノニック結晶に対し、ナノインデンテーションを用いた機械特性評価を行い、その押し込み試験中に電気特性も同時に評価した結果を報告する。