[16a-Z32-1~10] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[16a-Z32-5] Real-Time Measurement of Thermal Conductance-Capacitance by Thermal Feedback Oscillator

〇Kyohei Shirotori¹, Kentaro Kasahara¹, Toshiaki Yorigami², Yuto Goi², Hiroaki Satoh³, Hiroshi Inokawa³ (1.Eng.,Shizuoka Univ., 2.GSIST,Shizuoka Univ., 3.RIE,Shisuoka Univ.)

Keywords:Thermal feedback oscillator, Phase Locked Loop, Cutoff frequency

ワイヤーはCavityによって空中に浮いており熱絶縁であるため, 電気的な影響に加えて熱の影響も受ける。入力電圧の周波数が高くなると、熱の影響であるワイヤーの温度変化は電流の振動に追従できなくなり、温度振幅が減衰する。これによりワイヤーはローパスフィルタとして機能する。ローパスフィルタを組み込んだPLLを作成し圧力の変化に伴う発振周波数の変化を測定した。圧力変化に伴うカットオフ周波数の変化率の長さ依存性を調べた。