[16a-Z33-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16a-Z33-7] 二層型MoO_x/Al₂O₃ CBRAM中のCu移動のTEMその場観察

〇有田 正志¹、石川 竜介¹、福地 厚¹、高橋 庸夫¹ (1.北大情報)

キーワード：抵抗変化メモリ、TEMその場観察、二層型CBRAM

本研究では、Cu上部電極、TiN下部電極に挟まれたMoO_x/Al₂O₃構造の二層CBRAMに対してTEMその場観察実験（in-situ TEM）を行い、デバイス中のCuの移動、およびAl₂O₃層の役割について調べた。