[16a-Z34-1~11] CS.1 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[16a-Z34-11] サイズ選別クラスターイオンビームによるニトロベンジルピリジニウム塩のSIMS測定

〇盛谷 浩右¹、桝本 哲郎¹、乾 徳夫¹ (1.兵庫県立大院工)

キーワード：クラスターイオンビーム、スパッタリング、二次イオン質量分析法

分子クラスターはスパッタの際に試料のイオン化プロセスに影響を与えると考えられているが，そのメカニズムは明らかではない。 我々は分子クラスター照射による有機分子の脱離イオン化メカニズムを理解するために、分子の分解過程や解離エネルギーが明らかになっているベンジルピリジニウム塩を、Arおよび重水クラスターを一次イオンとしてSIMS測定し、そのクラスターサイズ依存性を比較した。