[16a-Z34-1~11] CS.1 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[16a-Z34-5] ビームのプラズマ化を考慮した低エネルギーイオンビームの引出しシミュレーション

〇早川 太朗¹、井内 裕¹、池尻 忠司¹ (1.日新イオン機器)

キーワード：イオンビーム、空間電荷、イオン源

低エネルギーイオンビームをイオン源から引出すシミュレーションでは、実際よりも大きく発散したビームの結果が得られる場合がある。これは、イオン源から出たビームの正の空間電荷を、ビームに含まれる電子が中和した影響が考慮されていないためである。ビームの空間電荷を電子が補償した効果を考慮したシミュレーションモデルを作成したので、この結果について述べる。