[16p-P03-1~1] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[16p-P03-1] TEMによるMist CVD法 (0001)α-Al₂O₃基板上α-In₂O₃の欠陥解析

〇早川 優香¹、大野 颯一朗¹、山口 智広¹、木口 賢紀²、高橋 昴¹、横尾 浩和¹、尾沼 猛儀¹、本田 徹¹ (1.工学院大、2.東北大)

キーワード：透過電子顕微鏡、Mist CVD法、In2O3