[16p-P12-1~4] 13.3 絶縁膜技術

[16p-P12-1] SiN_x,SiO_x膜へのアルカリ金属イオンの透過障壁のイオン半径依存性

〇奥 友希¹、戸塚 正裕¹、佐々木 肇¹ (1.三菱電機)

キーワード：絶縁膜、アルカリ金属イオン、透過障壁

前報ではイオンの半径の小さいイオンほどSiO₂,Si₃N₄膜への透過障壁が小さい傾向が見られた. しかしながら、陽イオンではその傾向が無かった。この原因を明らかにするため欠陥を有するSiNx,SiOx膜へのアルカリ金属イオンの透過障壁を計算した。その結果、アルカリ金属イオンでは、イオン半径が小さいほど透過し易いとは限らず、膜種や空孔により透過し易いイオンが異なることが分かった。