[16p-P12-1~4] 13.3 絶縁膜技術

[16p-P12-4] ウェット熱処理によるZrO₂薄膜の強誘電相発現機構

〇柴山 茂久¹、永野 丞太郎¹、安坂 幸師¹、坂下 満男¹、中塚 理^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：ZrO2、強誘電性、熱処理