2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[16p-P13-1~2] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2021年3月16日(火) 17:00 〜 17:50 P13 (ポスター)

17:00 〜 17:50

[16p-P13-1] ガラス基板上のレーザラテラル結晶化poly-Si1-xGex TFTの特性

〇原 明人1、北原 邦紀2 (1.東北学院大工、2.島根大総合理工)

キーワード：TFT、シリコン、ゲルマニウム