[16p-Z09-1~14] 3.1 Basic optics and frontier of optics

[16p-Z09-12] Micro-patterning based on optical vortex laser induced forward transfer

〇Muneaki Iwata^1,2, Akihiro Kaneko^1,2, Haruki Kawaguchi², Kei Umesato², Takashige Omatsu^2,3 (1.RICOH, 2.Chiba Univ., 3.MCRC, Chiba Univ.)

Keywords:Optical vortex, LIFT

光渦を用いたレーザー前方転写法では、光渦の持つ軌道角運動量がドナー薄膜に作用し、ドナーが自転しながら飛翔する「スピンジェット現象」が起こる。「スピンジェット現象」を活用すると、既存のインクジェット方式では吐出できない高粘度液膜でも、pℓスケール体積の微小液滴として吐出できる。本講演では、「スピンジェット現象」に立脚した高解像度イメージング技術の基礎的な実証実験について報告する。