[16p-Z10-1~17] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

△ [16p-Z10-3] 極薄InGaAsメンブレンを用いた導波路型フォトトランジスタの検証

〇落合 貴也¹、大野 修平¹、隅田 圭¹、モンフレ ステファン²、ブフ フレデリック²、トープラサートポン カシディット¹、高木 信一¹、竹中 充¹ (1.東大工、2.STマイクロ)

キーワード：受光器、フォトトランジスタ

深層学習のためのSiプログラマブル光回路に用いられる、高感度なフォトディテクターの集積が求められている。​Si導波路をバックゲートとし、その上に極薄InGaAsを貼り合わせたフォトトランジスタの検証を行った。