[16p-Z14-1~5] CS.6 6.5 表面物理・真空、7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[16p-Z14-3] 放射光光電子分光を用いた Ge(110)表面の酸素分子による室温酸化の研究

〇津田 泰孝¹、坂本 徹哉¹、吉越 章隆¹ (1.原子力機構)

キーワード：半導体、酸化、分子線