[16p-Z15-1~13] 6.6 Probe Microscopy

[16p-Z15-11] Scanning nanopipette probe microscope capable of irradiating local atmospheric pressure inductively coupled plasma for surface fine etching

Syun Toda¹, 〇Kenta Nakazawa¹, Akihisa Ogino¹, Masaru Shimomura¹, Futoshi Iwata^1,2 (1.Shizuoka Univ., 2.Shizuoka Univ. RIE)

Keywords:Atmospheric pressure plasma jet, Scanning probe microscope

大気圧プラズマジェット(APPJ)は加工技術などの多岐にわたる応用が研究されている．我々は，APPJ生成技術と走査型プローブ顕微鏡技術を応用したエッチング装置を開発し，サブマイクロメートルスケールの微細エッチング加工を実現した．しかし，低周波プラズマを用いたため，エッチングレートが低いといった課題がある．本研究では，高周波の大気圧誘導結合型プラズマを用いることで，エッチングレート向上に取り組んだ．