[16p-Z15-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[16p-Z15-11] 大気圧誘導結合型プラズマを局所照射可能な走査型ナノピペットプローブ顕微鏡の開発と表面微細エッチングへの応用

戸田 竣¹、〇中澤 謙太¹、荻野 明久¹、下村 勝¹、岩田 太^1,2 (1.静岡大工、2.静岡大電研)

キーワード：大気圧プラズマジェット、走査型プローブ顕微鏡

大気圧プラズマジェット(APPJ)は加工技術などの多岐にわたる応用が研究されている．我々は，APPJ生成技術と走査型プローブ顕微鏡技術を応用したエッチング装置を開発し，サブマイクロメートルスケールの微細エッチング加工を実現した．しかし，低周波プラズマを用いたため，エッチングレートが低いといった課題がある．本研究では，高周波の大気圧誘導結合型プラズマを用いることで，エッチングレート向上に取り組んだ．