[16p-Z20-1~11] 12.5 Organic solar cells

△ [16p-Z20-3] Features of NiOx films sputtered by four targets facing sputtering cathode

〇Yoshiki Nishida¹, Hiroshi Iwata¹ (1.KEIHIN RAMTEC)

Keywords:Perovskite solar cell, NiOx, Hole transport layer

低ダメージスパッタ成膜源である四面式対向ターゲットマグネトロンスパッタカソード（以下、RAMカソード）と自社開発したNiOx（亜酸化Ni）ターゲットを使用してNiOxをガラス基板へ無加熱成膜し、単一膜の基本特性を評価した。
発表当日は、透過スペクトル及びホール測定も加味した評価結果を基に、RAMカソードでスパッタ成膜したNiOx膜の特性を報告する。