[16p-Z20-1~11] 12.5 有機太陽電池

△ [16p-Z20-3] 四面対向式スパッタによるNiOx膜の特性

〇西田 義基¹、岩田 寛¹ (1.京浜ラムテック)

キーワード：ペロブスカイト太陽電池、NiOx、正孔輸送層

低ダメージスパッタ成膜源である四面式対向ターゲットマグネトロンスパッタカソード（以下、RAMカソード）と自社開発したNiOx（亜酸化Ni）ターゲットを使用してNiOxをガラス基板へ無加熱成膜し、単一膜の基本特性を評価した。
発表当日は、透過スペクトル及びホール測定も加味した評価結果を基に、RAMカソードでスパッタ成膜したNiOx膜の特性を報告する。