[16p-Z25-1~10] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

△ [16p-Z25-2] Surface Wettability of Silicon Nanopillar Array Structures Fabricated by Bio-template Ultimate Fabrication Processes

〇(M1)Sou Takeuchi¹, Daisuke Ohori^1,4, Teruhisa Ishida², Masahiro Sota², Kazuhiko Endo^1,3, Seiji Saukawa^1,3,4 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.NAGASE & CO., LTD., 3.AIST, 4.AIMR, Tohoku Univ.)

Keywords:hydrophobicity, Si nanopillar structure, Neutral Beam Etching

濡れ性は材料の表面特性を考慮する重要なパラメータの1つであり様々な分野で応用が期待される。我々は独自の技術であるバイオテンプレート極限加工技術と中性粒子ビーム加工技術を用いて数十nmサイズのSiナノピラー構造を作製した。本研究では配置制御されたSiナノピラー構造の間隔を変化させることで表面の濡れ性の変化について検討を行った。また、Si表面における酸化膜の有無による濡れ性の変化についても検討を行った。