13:45 〜 14:00 △ [16p-Z25-2] バイオテンプレート極限加工により作製されたシリコンナノピラー構造における表面濡れ性の制御 〇(M1)竹内 聡1、大堀 大介1,4、石田 昌久2、曽田 匡洋2、遠藤 和彦1,3、寒川 誠二1,3,4 (1.東北大流体研、2.長瀬産業、3.産総研、4.東北大AIMR)