[16p-Z25-1~10] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

△ [16p-Z25-4] Simulation of energy dependence of heavy-ion-induced SET waveforms with two-photon absorption pulsed laser

〇Tatsuya Karaki^1,2, Daisuke Kobayashi², Kazuyuki Hirose^1,2 (1.The Univ. of Tokyo, 2.ISAS/JAXA)

Keywords:soft error, the Bessel beam, two-photon absorption process

半導体デバイスソフトエラーの原因となる重イオン入射時の過渡電流波形をパルスレーザよる二光子吸収過程を利用して評価した．低エネルギー酸素イオンがSiPINフォトダイオードに照射された際の電流波形の再現に成功し，加速器のエネルギー条件の隙間を埋めるようなSET波形のエネルギー依存性を再現することに成功した．このエネルギー補完方法は，バルクやSOIのMOSFETに適用できる可能性がある．