[16p-Z25-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16p-Z25-7] 酸素吸着によるPt薄膜抵抗率変化の原子論的解析

〇田中 貴久¹、内田 建¹ (1.東大工)

キーワード：ガスセンサ、キャリア輸送、ガス吸着