[16p-Z26-1~15] CS.5 Code-sharing Session of 6.1 & 13.3 & 13.5

[16p-Z26-12] [Highlight]Nanoscale Mapping of Domain Switching Behavior in Ferroelectric Films

〇Yoshiomi Hiranaga¹, Takanori Mimura², Takao Shimizu², Hiroshi Funakubo², Yasuo Cho¹ (1.Tohoku Univ., 2.Tokyo Tech.)

Keywords:ferroelectrics, scanning probe microscopy, hafnium oxide

本講演では，ナノスケール強誘電分極反転挙動のイメージングを可能とする新たな手法である局所C-Vマッピング法を用いた薄膜評価について述べる．