[16p-Z29-1~13] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16p-Z29-1] 水晶振動子質量測定によるNb₂O₅室温ALDの素反応評価

〇(DC)吉田 一樹^1,2、齋藤 健太郎^1,2、三浦 正範³、鹿又 健作³、廣瀬 文彦¹ (1.山形大院理工、2.学振特別研究員、3.山形大ROEL)

キーワード：原子層堆積、酸化ニオブ、室温成膜

金属酸化物の表面コーティングは食品包装、有機エレクトロニクスなど幅広く用いられている。Nb₂O₅（酸化ニオブ）は高い耐腐食性能を持つが高温成膜が必要であり、フレキシブルエレクトロニクスでの利用が難しい問題があった。我々はこれまでに室温原子層堆積法(RT-ALD)による酸化ニオブの成膜プロセスを開発し、優れた耐腐食性能が得られることを報告したが、成膜の素反応は未解明であった。本研究では水晶振動子マイクロバランス法(QCM)を用いて酸化ニオブRT-ALD中の水晶振動子表面の質量変化を観察し、成膜モードの確認を行った。さらにサイクル中の質量変化に注目し成膜時の表面反応について議論する。