[16p-Z33-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-Z33-3] PtO_x/ZnOショットキー接合のDLTSによる界面欠陥の評価

〇(M1)松村 美貴也¹、田中 貴久¹、内田 建¹ (1.東大院工)

キーワード：DLTS、ZnO、結晶欠陥

酸化物半導体ZnOの(0001)面に対して反応性スパッタリングでPtO_xを製膜することによりPtO_x/ZnOショットキー接合を作製し，その界面欠陥をDLTS(Deep Level Transient Spectroscopy)によって評価した。