2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.6 プローブ顕微鏡

[17a-P08-1~5] 6.6 プローブ顕微鏡

2021年3月17日(水) 11:00 〜 11:50 P08 (ポスター)

11:00 〜 11:50

[17a-P08-5] XANAMにより測定したGe量子ドット像のX線エネルギー依存性

鈴木 秀士1、向井 慎吾2、田 旺帝3、野村 昌治4、藤森 俊太郎1、池田 弥央1、牧原 克典1、宮﨑 誠一1、朝倉 清高2 (1.名大院工、2.北大触媒研、3.ICU、4.KEK-PF)

キーワード:非接触原子間力顕微鏡、元素分析、ゲルマニウム

試料表面の化学分析をナノスケールで行う手法として、NC-AFMと放射光X線を組み合わせたX線支援非接触原子間力顕微鏡(XANAM)を開発してきた。これまでX線照射下のGe量子ドットを数ナノスケールの空間分解能でイメージングが可能であることを報告した。Ge量子ドット像のX線エネルギー依存性について纏めた結果を報告し、力変化の起源やXANAMの空間分解能について報告する。