[17a-Z04-1~11] 1.1 応用物理一般・学際領域

[17a-Z04-4] 衝撃焼結法により形成したフッ化イットリウムのグレインサイズと組成がエッチング耐性に及ぼす影響

〇松本 哲之^2,1、本間 哲哉² (1.キオクシア、2.芝工大)

キーワード：フッ化イットリウム、大気圧プラズマ溶射、衝撃焼結法

大気圧プラズマ溶射および衝撃焼結法でコーティングしたフッ化イットリウムの重量変化、表面粗さ、結晶グレインサイズ、原子組成変化を調べた。結晶グレインサイズが小さくなると、重量変化、F_1sの原子組成変化が小さくなる。