[17a-Z22-1~10] 11.4 Analog applications and their related technologies

[17a-Z22-9] Development of transition-edge sensor with high counting rate

〇(P)Yoshitaka Miura¹, Sachiko Takasu¹, Kaori Hattori^1,2, Daiji Fukuda^1,2 (1.AIST, 2.OPERANDO-OIL)

Keywords:transition-edge sensor, high counting rate, small-size

超伝導転移端センサ (TES) は超伝導/常伝導間の急峻な温度転移領域で動作するマイクロカロリーメータの一種である。TES は光子数識別器として知られており、量子コンピュータ等の光量子デバイス分野への応用が期待される。しかし、TES は応答速度が課題であり、1 Mcps を超える高計数率測定が可能な TES の開発が求められている。そこで、高計数率での計測実現に向け、高い転移温度を持ち、センササイズを極小化した TES を作製し、超伝導特性および光応答特性を測定した。