[17a-Z22-1~10] 11.4 アナログ応用および関連技術

[17a-Z22-9] 高計数率超伝導転移端センサの開発

〇(P)三浦 義隆¹、鷹巣 幸子¹、服部 香里^1,2、福田 大治^1,2 (1.産総研、2.産総研・東大 オペランド計測 OIL)

キーワード：超伝導転移端センサ、高計数率、極小サイズ

超伝導転移端センサ (TES) は超伝導/常伝導間の急峻な温度転移領域で動作するマイクロカロリーメータの一種である。TES は光子数識別器として知られており、量子コンピュータ等の光量子デバイス分野への応用が期待される。しかし、TES は応答速度が課題であり、1 Mcps を超える高計数率測定が可能な TES の開発が求められている。そこで、高計数率での計測実現に向け、高い転移温度を持ち、センササイズを極小化した TES を作製し、超伝導特性および光応答特性を測定した。