[17a-Z27-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17a-Z27-4] GaN結晶中の貫通転位の非破壊分類に向けた多光子励起PLマッピング像とラマンマッピング像の相関解析

〇谷川 智之¹、足立 真理子²、寺田 陸斗¹、塚越 真悠子¹、上向井 正裕¹、片山 竜二¹ (1.阪大院工、2.ナノフォトン)

キーワード：多光子励起フォトルミネッセンス、転位、ラマン散乱

多光子励起PL法を用いたGaN結晶中の転位種の識別に向けて、多光子励起PL測定で観察される暗点と、ラマンマッピング測定で観察される歪場の相関を調べた。コントラストの淡い暗点には転位の歯上成分に起因した歪場が観測された。一方、コントラストの濃い暗点には歪場は見られなかった。これは、暗点のコントラストによりらせん転位を識別可能な可能性を示している。当日は転位の伝搬挙動と刃状転位成分の関係についても報告する。