2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[17a-Z33-1~8] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2021年3月17日(水) 10:00 〜 12:00 Z33 (Z33)

有元 圭介(山梨大)

11:30 〜 11:45

[17a-Z33-7] GeO2下部層による固相成長Ge薄膜の移動度向上機構

今城 利文1,2、末益 崇1、都甲 薫1 (1.筑波大院、2.学振特別研究員)

キーワード:Ge、固相成長、薄膜