[17p-P02-1~8] 3.13 半導体光デバイス

[17p-P02-6] モノリシック青色マイクロLEDピクセルの製作とフルカラー化の検討

〇(M1C)筑井 大義¹、武田 翔馬¹、尾沼 猛儀¹、山口 智広¹、本田 徹¹ (1.工学院大工)

キーワード：マイクロLED、ディスプレイ、モノリシック

μ-LEDディスプレイはLEDの特徴を活かした高輝度・低消費電力・高コントラスト・長寿命の次世代ディスプレイ技術として期待されている。試作品では回路基板上にフリップチップLEDを集積することが多いが、膨大な数のLEDを高精度に配列する必要があり、生産コストが高くなる。本研究では、LEDウェハをエッチングすることで微細化と実装を同時に実現するモノリシック集積方法を用いて青色のμ-LEDピクセルを製作した。