[17p-P02-1~8] 3.13 半導体光デバイス

[17p-P02-7] 利得導波型光共振器の回折損失マップ計算

〇黒川 知加子¹、鈴木 雄太¹、北川 雄真¹、手塚 信一郎¹ (1.横河電機(株))

キーワード：MEMS-VCSEL、Fox-Li法、利得導波型光共振器

トンネルジャンクション（TJ）による電流搾取構造を持つ利得導波型光共振器であるMEMS-VCSELの構造最適化には、鏡の軸ずれや傾きによる回折損失の見積もりは重要である。我々は、近軸近似を含まない積分核を用いたFox-Li法にレーザー活性層の利得導波機構を近似的に導入することで、MEMS-VCSELの回折損失マップを計算した。その結果、TJ径が大きくなることで、鏡の傾きによるビーム中心のずれを鏡の軸ずれにより補完する効果が見られた。