[17p-Z03-1~10] プラズマエレクトロニクス分科会３０周年記念シンポジウム：ニューノーマル時代の躍進に資するプラズマエレクトロニクス

[17p-Z03-7] プラズマプロセスの これまで と これから

〇辰巳 哲也¹ (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ（株）)

キーワード：半導体、プラズマ、ドライエッチング

ドライエッチング技術とその半導体デバイス応用に関する開発の歴史を振り返り、今後の半導体技術の進化の方向性とその中でのプラズマプロセスへの期待について議論します